国内厂家都开始了自主研发光刻机，提供更加完善的售后服务。虽然中科院的这个突破暂时没法解&&&&决国产高端光刻机的问题，
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而且5纳米以下非EUV不能行，浸没式系统——启尔机电成为全球第三家具有&&&&光刻机浸没式系统研发能力的公司。
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