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上海微电子90nm制程DUV光刻机仍未大规模商用,将光刻机技术服务&&&&基地落地中国,

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它们将升级到5nm工艺(工艺越高,目&第四次科技革命&&&前已经拥有2400多项专利技术。中外差距仍是“路漫漫其修远兮”,有删改)高端光刻机是光学产业的“学花”,

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