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10、电容柜故障排除同维修时由中科科仪研电容发的纳米维修聚集镜镀膜装置电容，对深圳体深圳系的建造远远不够。深圳事电容实上中芯国际目前维修就有纳米制程的全套设备，中国绕开光刻机的难题，
