微波 而微波光刻机微波又为芯片微波炉制造环节的微波炉关键设备。也螃蟹就是我们熟知的EUV光刻机。螃蟹与传统光刻技术微波炉相比,尤其采用EUV极紫外光源的光刻机,
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