国内晶圆厂大规模扩产，将带来半导体设备/材料领域的国产替代。随着国产设备厂商崛起，国内半导体零部件市场也面临快速增长期。而目前国内半导体零部件各细分市场的供应仍主要依赖于海外，国产化程度较低。
目前已有国产厂商在细分领域取得突破，如金属件已有多家厂商有较好替代能力，真空系统、气体系统等也有厂商实现较好突破，而替代难度较大的射频电源等产品也陆续有所进展。
中芯国际自2020年被美国加入实体清单后，战略方向逐渐向成熟制程扩产倾斜，2021年以来先后发布公告将分别在北京、深圳、上海、天津加大投资进行成熟制程扩产，尤其是2022年8月27日最新公告的天津厂扩产，拟投资75亿美元于天津扩产10万片/月12英寸产能，彰显了国内晶圆厂不受行业景气扰动的意志和信心。
据测算，2022年-2024年国资背景晶圆厂资本开支分别为255亿、290亿、360亿美元，仍有较快增速。
国资晶圆厂资本开支测算
图片来源：兴业证券
我们认为，国内晶圆厂大规模扩产，将带来半导体设备/材料领域的国产替代。此前我们已经多次对半导体设备/材料领域做出过梳理，本期我们重点梳理一个很容易被忽视的领域——半导体关键零部件。
- 半导体零部件品类多、空间大
半导体设备精密零部件指的是半导体设备中所用到的上游精密零部件，是半导体设备的重要组成部分，具体包括各种Pump（泵）、Valve（阀门）、ORing（密封圈）、ESC（静电吸盘）、ShowerHead（气体喷淋头）等，同时晶圆制造厂商也会采购各种精密零部件以支撑产线正常持续生产或作为备件使用。
半导体设备本身具有多品种、小批量、定制化的特点，其精密零部件也具有类似特点，细分种类极多、数以千计。据咨询机构VLSIResearch定义，半导体子系统及零部件分为几大类，包括流体管理系统、集成过程诊断系统、光学系统、电源与反应气体系统、热管理系统、真空系统、晶圆处理系统等，其中又以真空系统、电源系统、晶圆处理系统和流体管理系统为主，合计占比约七成左右。
据兴业证券测算，全球半导体零部件市场规模预计至少在三百亿美元以上。
设备厂方面，由于设备厂商成本构成中直接材料占比约在80%-90%，而设备厂商毛利率多在40%-50%，因此直接材料占设备厂商销售额约在40%-54%；而精密零部件占原材料采购比例较高，根据零部件定义不同，起码也在70%以上。
结合起来测算，半导体零部件占半导体设备市场规模的比例保守估计在三成以上，而2021年前道晶圆制造设备规模约为875亿美元，因此对应半导体零部件市场规模预计至少在二百五十亿美元以上。
晶圆厂方面，据芯谋研究口径，2020年中国大陆晶圆线8英寸和12英寸前道设备零部件采购金额超过10亿美元，结合大陆产能在全球占比情况，预计全球晶圆厂对前道设备零部件采购金额在六十亿美元以上。
从芯谋研究统计数据来看，大陆晶圆厂采购零部件中金额占比较大的主要有石英件（Quartz）、射频电源（RF Generator）、各种泵（Pump）等，占比在10%及以上，此外各种阀门（Valve）、吸盘（Chuck）、反应腔喷淋头（Shower Head）、边缘环（Edge Ring）等零部件的采购占比也比较高。
- 国内厂商梳理
江丰电子—喷淋头
江丰电子成立于2005年，成立以后主要从事高纯溅射靶材业务，产品包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等各种溅射靶材，主要应用于半导体、平板显示等领域。公司是国内溅射靶材龙头，技术水平处于全球领先地位，产品已在IC制造领域7nm节点批量供货，5nm节点部分产品也已评价通过并量产，客户覆盖台积电、中芯国际、SK海力士、京东方、华星光电等各领域龙头厂商。
基于在金属材料特性和加工处理等方面积累的较为丰富的经验和技术储备，公司横向拓展半导体设备精密零部件业务，公司布局产品众多，涉及PVD、CVD、刻蚀、清洗等多个环节，产品包括PVD机台用ClampRing、Collimator，CVD及etching机台用face plate、shower head等，CMP用金刚石研磨片、保持环等，以及传输腔体、反应腔体等，近年来逐渐开花结果迎来收获期。
公司半导体用精密零部件客户主要有北方华创/拓荆科技/芯源微/盛美上海/上海微电子/屹唐科技等国内设备龙头。
新莱应材—真空系统
新莱应材于1991年在中国台湾成立，于1995年组建真空电子部门，于2000年将总部迁至江苏昆山。公司目前主要业务包括用于食品安全和生物医药领域的洁净应用材料，用于泛半导体领域的高纯及超高纯应用材料，以及用于液态食品的纸铝塑复合无菌包装材料、液态食品无菌灌装机械及相关配套设备。
在泛半导体领域，公司业务主要为以高纯不锈钢为母材的应用材料的研产销，产品为真空腔体、管道、管件、泵、阀、法兰等，覆盖于半导体制程设备和厂务端所需的真空系统和气体管路系统。
在设备端，公司已涵盖AMAT、LamResearch、北方华创、中微公司、电科48所等国内外知名设备厂商；而在厂务端，公司面对终端客户，如无锡海力士、台积电、英特尔、三星、长江存储、华星光电、惠科等。
华亚智能—金属结构件
华亚智能始建于1998年，设立以来持续深耕精密金属结构制造市场，专注于向国内外领先的高端设备制造商提供小批量、多品种、工艺复杂、精密度高的定制化精密金属结构件产品。公司产品主要为金属结构件和设备维修件，其中精密金属结构件产品广泛应用于半导体设备领域、新能源及电力设备领域、医疗器械领域和通用设备领域；设备维修件是半导体高端设备上的阀门维修。
半导体设备领域，公司主要产品为：应用于晶圆刻蚀气体输送中心、晶圆（清洗、沉积）控制平台、晶圆成膜（PECVD）设备气体输送平台、超高亮度LED薄膜沉积设备、全自动锡膏印刷机、晶圆检测设备（AWX）成像检测平台等半导体设备的精密金属结构件。设备领域，公司客户为超科林、ICHOR、捷普、天弘、依工电子等设备部件制造商；
已进入半导体设备国际巨头AMAT、LamResearch，晶圆检测设备国际知名制造商RudolphTechnologies和国内领先制造商中微半导体的供应链体系，为刻蚀、沉积、晶圆检测等设备提供精密金属结构件。
正帆科技-介质供应系统
公司电子工艺设备的主要产品包括特气柜、化学品中央供应柜、分流箱、化学品稀释混配单元、液态源输送设备，以及用于半导体工艺设备的流体输送系统/设备（GasBox）等。业务的主要功能是将客户所需的高纯气体、化学品供应至客户的工艺机台，系统中的核心产品即为供应过程中实现输送分配、蒸发冷凝、混配稀释等基本功能的独立设备/单元。
公司在泛半导体、光纤通信、医药制造等领域均积累了强大的客户资源，客户包括中芯国际、长江存储、长鑫存储、京东方、三安光电等，公司已成功打入大陆领先的中芯国际14纳米制程Fab厂的供应链体系，并为其提供特气、大宗气体相关设备及系统服务。
英杰电气—射频电源
在半导体行业，公司产品主要用于电子级多晶硅、半导体用单晶硅、碳化硅晶体、LED用蓝宝石、LED外延片等材料生产设备的电源控制。公司的特种电源产品包含应用于MOCVD设备的PD直流电源，2017年开始大批量生产并实现进口替代，成为中微半导体MOCVD电源的供应商。
同时，公司正在研发高端射频电源，可广泛应用于半导体刻蚀、离子注入、太阳能电池PECVD、真空镀膜等行业领域，产品已小批量试制、交客户测试。
汉钟精机-真空泵
汉钟精机成立于1998年，目前主要业务为压缩机（组）产品（包括商用中央空调压缩机、冷冻冷藏压缩机、热泵压缩机、空气压缩机等）和真空产品（包括太阳能光伏和半导体领域）。公司压缩机在业内具有高知名度及信任度，在国内制冷压缩机领域常年占据龙头地位，在空气压缩机、铸件等产品也有一定份额。
真空产品方面，公司在太阳能光伏产业已深耕多年，主要应用于拉晶及电池片制程，已有较大市场份额，客户包括隆基股份、晶盛、中环等知名厂家；同时公司已有能满足半导体生产最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，有三个系列可用于多种半导体工艺。
参考研报：
20220906-兴业证券-半导体零部件国产化浪潮起，优质厂商迎发展良机
本报告由研究助理协助资料整理，由投资顾问撰写。投资顾问：黄波（登记编号：A0740620120007）
