据CINNO Research统计，2021年中国大陆已上市半导体设备厂商中，排名前十的公司营收合计达182亿元，较2020年增长73%，创历史新高。
过去两年，全球半导体产能紧缺引发的扩产潮，使得多家设备商2021年度经营业绩表现亮眼，营收创历史新高。
近几年，国产半导体设备厂商通过自主研发，已在多个工艺制程中实现了设备的国产化替代，并进入产业化量产阶段，并涌现出了北方华创、中微公司、盛美上海等优秀的半导体装备商。除上市企业外，未上市与申请上市中的屹唐半导体、中电科、上海微电子等也是中国大陆半导体设备商的中坚力量。
图：2021年国内上市半导体设备厂商营收排名Top10
（来源：CINNO Research）
下面分别看一下这10大厂商的概况。
1 北方华创：2021年半导体设备营收71.2亿元，同比增长71%。北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司（北方微电子）战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业制造基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
2 中微公司：2021年营收31.1亿元，同比增长37%。中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称中微公司）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。
3 盛美上海：2021年半导体装备业务营收15.5亿元，同比增长59%。盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年，是半导体清洗设备市场国内领导厂商。
4 长川科技：2021年营收15.1亿元，同比增长88%。杭州长川科技股份有限公司成立于2008年4月，主营产品包括测试机、分选机、探针台、AOI设备和自动化设备。公司已于2017年4月17日，在深交所创业板挂牌上市。
5 新益昌：2021年其固晶机业务营收9.1亿元，同比增长71%。深圳新益昌科技股份有限公司主要从事LED、电容器、半导体、锂电池等行业智能制造装备的研发、生产和销售，经过多年的发展和积累，公司已经成为国内LED封装、电容器老化测试智能制造装备领域的领先企业，同时凭借深厚的研发实力和持续的技术创新能力，成功进入了半导体封装设备和锂电池设备领域。此外，公司部分智能制造装备产品核心零部件如驱动器、高精度读数头及直线电机、音圈电机等已经实现自研自产，是国内少有的具备核心零部件自主研发与生产能力的智能制造装备企业。
6 华峰测控：2021年设备业务营收8.8亿元，同比增长121%。北京华峰测控技术股份有限公司作为国内最早进入半导体测试设备行业的企业之一，在行业内深耕二十余年， 聚焦于模拟和混合信号测试设备领域。公司凭借产品的高性能、易操作和服务优势等特点，在模拟及数模混合测试设备领域打破了国外厂商的垄断地位，在营收和品牌优势方面均已达到了国内领先水平。产品不但在中国境内批量销售还外销至中国台湾、美国、欧洲、韩国、日本等境外半导体产业发达地区，截至目前，全球累计装机量突破3000台。公司目前为国内前三大半导体封测厂商模拟测试领域的主力测试平台供应商，还拥有上百家集成电路设计企业客户资源，也与超过三百家以上的集成电路设计企业保持了业务合作关系，未来中国自主芯片发展为公司快速成长提供重大机遇。
7 芯源微：2021年营收8.3亿元，同比增长152%。主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清洗设备等。
8 华海清科：2021年营收8.0亿元，同比增长109%。华海清科主要从事化学机械抛光（CMP）、研磨等设备和配套耗材的研发、生产、销售，以及晶圆再生代工服务。产品可广泛应用于极大规模集成电路晶圆制造、封装、微机电系统制造、硅材料制造等领域。
9 拓荆科技：2021年营收7.6亿元，同比增长74%。该公司聚焦于半导体薄膜沉积设备。
10 至纯科技：2021年半导体设备业务营收7.0亿元，同比增长222%。至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等。
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