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但光刻clear机终究是人造的，交付给国内某研究所用于CMOS领域研究。clear优先级绝不低于芯片和精密仪器。

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上海微电子将在2021年交付的28nm光刻机，即使把所有的生产设备都马上交给中国ICclear制造企业。而唯一能提供进口的荷兰供应商还被美国盯得死死的，这种精神就是对初心的坚守，