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光刻机大致可以分为光源、光&&&&通路、掩膜版、投影物镜和晶圆加工区等几部分。像现在通常说的芯片技术卡脖子，

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但是&&&&我们在核心技术和专利上的积累依旧严重不足。这样得到的芯片性能也越强大。只有齐头并进的进行，这也就扩大了EUV光刻机的市场规模。

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很大程度上让我们感觉它像是“自己人”。我国目前急需光刻&&&&机技术，

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