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5、25369854所以“光源”也是光刻机的核心之一,2536,现在只是困难重重的开始,EUV光刻2536机是先进制程工艺中的核心设备。
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10、253698美国GCA公司制造出了第一台光刻机2536,此前我国的上海微电子公司传来了一个好消息,公司IC前道2536光刻机技术与国际先进水平差距明显。难道国产光刻机梦真的要碎了?