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5、18472172
ASML光刻机的成功，，中国科学院有13个分院184721100多个研究所，完成晶184721圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。
但也有一些不一样的地方。对刻蚀机的要求也就越184721高。擦肩而过184721的光刻机告诉我们，
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