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中科院、清北高校等顶尖科研机构一直没有放松自研的脚步，中芯国际已经突破14纳米的加工工艺，不断减小光刻机可分辨的最小&&&&线宽，

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现在国外对我们&&&&光刻机禁运。清华大学在上世纪70年代就能生产当时国际水准的光刻机。在碍于光刻机的制造技术时候，但是如果相关设备以及零件从美国出口，