激光 激光器在芯片代工激光器领域的竞争优势也不言而喻。而高端光刻技基本上都被荷兰ASML公司所垄断,并且在突破的过程中最好不要使用其他国家的专利,中国科学院开始研制计算机辅激光助光刻掩模工艺。
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