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这里也要注意台积alt电不生产光刻机,像是美国将光刻机与芯片核心技术抓的死死的,比如清华大学研究了一项可用于EUV电池光刻机的新型粒子加速器光源“稳态微聚电池束”。中芯国际向ASML购买的7nm光刻机至今未到alt货,

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