高端光变频器刻机是“卡脖子”设频器备，如频器今ASML最高端的变频产品就是EUV光刻机！经历20年发展逐渐缩小与国际光刻变频器机巨头差距，
2、acs510变频器参数设置
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5、acs510变频器恒压供水参数设置
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8、acs510变频器报F0001
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